立式螺桿真空泵

螺桿真空泵的優點

目前各種真空泵的發展愈來愈受到真空應用場合的影響，一般的真空系統無法滿足清潔無油及耐腐蝕的要求，因此近年來干式真空泵市場需求量很大,真空獲得產品已經出現更新換代的局面,大量的有油真空系統已被無油清潔的真空系統所代替。國外幾乎每一家較大的真空公司都生產各種不同型式的干式真空泵.螺桿真空泵屬于非接觸型干式泵,是20世紀90年代初期出現的一種理想的泵種,以其抽速范圍寬、結構簡單緊湊、抽氣腔元件無摩擦、壽命長、能耗低、無油污染等優點得以廣泛應用。

干式螺桿真空泵由于其優越的性能，在歐美和日本目前已經成為微電子、半導體、制藥、準確加工等行業選擇真空獲得設備，日本在螺桿壓縮機基礎上，很早就研發出了真空泵的多頭轉子型線，并投入市場。德國幾家真空設備公司也逐步的開發出了等螺距、變螺距轉子型線，并在轉子和機體冷卻方面做了很多研究。中國企業在2008年也將螺桿真空泵的生產進入批量化生產，在化工制藥等行業取得很好的應用。